直线运动平台的精度测量

位置精度

定位精度

从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其最大值和最小值的差为定位精度。

空行程

在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程。

重复定位精度

在平台的任意位置（两端或中心等），从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度。

传动副间隙

在平台的任意位置（两边·中心等），向正方向或负方向加载一定推力，我们定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙。

动作精度

运动平行度

我们定义平台在全行程范围运动时，台面在高度方向的偏移量为运动平行度。

XY垂直度

以XY轴平台的X轴为基准，这时用直角尺测量Y轴方向在动作中的位移量。这个偏移量杯定义为XY垂直度。

Z轴垂直度

在Z轴平台上设置千分表，并测量与某一基准垂直台间的相对偏移量。我们定义这个偏移量为Z轴垂直度。

（参考值）测量结果 (HPS60-20X)

结果

最大空行程：1.10µm

平均空行程：0.62µm

重复定位精度

单向定位精度 ↑    0.77µm

                                       ↓   0.62µm

定位精度：2.97µm

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