尊龙凯时平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

作者：发布时间：2020-04-15 18:44:56点击：475

尊龙凯时平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。
实测结果表明，挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。我们推测，这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。

放出气体量

型号	放出气体量Q（排气40分钟后）
型号	(Torr·ℓ/s/unit)	(Pa·ℓ/s/unit)
TSDS-602S	3.57×10^-5	4.76×10^-3
TSDS-603	1.65×10^-5	2.20×10^-3

评价装置的技术指标

排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec

质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu

真空腔内的真空度

质量成分比例

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。

残留气体谱线一览表

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