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光吸收法
如果强度为I0的光照射具有光吸收性的薄膜，则透过薄膜的光强度可由下式表示
I=I0(I - R)² exp(αt)
式中，t为膜厚；α为吸收系数；R为薄膜与空气界面上的反射率。
显然，通过测量光强度的变化，利用上式可以确定吸收薄膜的厚度。这种方法非常简单，常用于金属蒸发膜厚度测定，且适用于淀积过程的控制。淀积速率一定时，在半对数坐标图上，透射光强与时间的关系是线性的。这种方法也适用于在一定面积上薄膜厚度均匀性的检测。但必须指出，此方法只适用于能形成连续的、薄的微晶的薄膜材料(如 Ni-Fe 合金等)，其他物质(如Ag)在小的厚度时 (约30nm)，透射光强随厚度呈线性衰减。因此，只有能满足式(I=I0(I - R)² exp(αt)的蒸发材料才适用。
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